云南净化车间的换气次数以及气流速度，一直是云南净化车间设计当中比较关注的一个问题，随着FFU的应用，人们担心的噪音、损坏维修等问题全部已经在实践中得到解决，伴随着FFU的不断改进，对是否采用FFU回风系统也是个比较关注的话题：悬浮分子污染（AMC）的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，以下云南净化车间对这些问题进行简单的探讨。

　　一.气流速度

　　云南净化车间内一定洁净度下要对气流速度进行确认，随净化车间用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就云南净化车间而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：

　　（1）室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大；

　　（2）室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流；而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层；

　　（3）自净时间（恢复时间）的控制要求：云南净化车间中事故释放或带入污染物或空气气流的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的恶化，恢复到原来洁净度的自净时间决定于气流速度。

　　（4）末级过滤器的效率：在一定的室内发尘量下，可采用较高效率的过滤器以降低气流速度；为节能应考虑采用较高效率的过滤器，并降低气流速度，或采用较低效率的过滤器并采用较高的气流速度，以求流量与阻力的乘积最小。

　　（5）经济性考虑：过大的气流速度造成投资及运行费用的增加，合适的气流速度为以上诸因素合理的综合，过大往往不必要，亦不一定有效果；

　　二.云南净化车间中FFU系统的应用

　　FFU在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是：

　　（1）云南净化车间采取均流及减少噪音的措施，噪音可在50db以内;

　　（2）电动机采用DC/EC（电子整流电机），以耗较原交流电机节约近50%，因为小风机所用小容量（功率<1/2HP）的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其效率仅40%左右，而DC/EC电机的效率可达75～80%；在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗，但目前投资回收期尚长而未广泛采用，一般常用分组群控或全部群控。

　　（3）但FFU出口静压不能过大，净化车间一般采用出口风速成0.38m/s，此时其静压一般在250Pa以内。