洁净车间要确定设计方案，必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑，发尘量大的车间一般不采用地面送风形式，洁净度要求高的车惮应尽可能远离其它车间。所以空气循环设计要考虑房间的工作性质、以及生产工要求，再决定净化系统的技术参数。

　　洁净车间工程中空气循环特点可以分为三种设计类型：

　　第一种循环空调机配合高效送风口系统形式在小规模低等级要求的洁净车间装修工程设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间工程则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

　　第二种循环风机配合湿式密封系统形式的设计可以满足集成电路制造洁净车间工程大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室工程的风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

　　第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的设计方案。

　　参照设计惯例和房间工作参数进行选择气流形式。为了保证气流几乎不受干扰，就必须进行前期的缜密设计，必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。房间里必须保持正压，防止外面污染气流进入室内，为了获得所要求的房间压力，必须补充适当的新鲜空气。根据所要运行的车间，提供必须的给排水设备，送风设备和电源，这些设备和所涉及的区域必须易于使用和设计， 不得有碍于空气净化系统。洁净车间顶棚，墙面和地板的材料选择上必须是不宜破裂，不易沾颗粒，以及几乎不起尘的材料，另外根据房间不同的工作条件，还要考虑材料的化学业性能是否稳定。必要时还得安置一些辅助设备，如新风口的空气指示仪，隔断上的传递窗等，这些设备必须适合房间的要求，并且必须真正了解其功能。人员和货物是无尘室的主要尘埃来源，因此洁净车间的循环系统对于人和货物的污染控制也要做出措施。

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