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洁净车间的三大难题如何解决
发布时间:2018-02-06   浏览次数:5400

文章摘要:洁净车间有它的特殊性,其生产厂房的特点非常鲜明。随着半导体工艺技术的发展,集成电路生产对于洁净车间的洁净度要求越来越高,下面跟润德净化一起了解下。
  洁净车间有它的特殊性,其生产厂房的特点非常鲜明。随着半导体工艺技术的发展,集成电路生产对于洁净车间的洁净度要求越来越高,下面跟润德净化一起了解下。
 

  第一个难题是高空作业

  由于集成电路、TFT-LCD厂房的层高普遍较高,施工的难度非常大,对施工过程的安全保障也提出了更高要求。由于这类厂房的洁净区通常在整栋厂房的第二层,在施工过程中,我们采取分层作业的施工方式,先对洁净区的地板层进行施工,然后以地板层为界面,分为上、下两个层面进行施工,并在下夹层满铺安全网以确保洁净室施工人员的人身安全。

  第二个难题就是大面积精度控制

  随着产业的发展,洁净区面积越来越大,地面精度控制要求也越来越高。我们的做法是配置专业的测量人员,设置一条十字基准线作为基准源,建立覆盖全厂房的基准线体系。在施工过程中,用激光扫平仪进行安装高度的调整,并用经纬仪进行不间断复测,从而在大面积的洁净车间内把精度控制在要求范围之内。

  第三个难题就是全过程洁净施工控制

  洁净车间相对其他厂房一个最大的特点就是洁净的管控,洁净管控从建厂一开始到最后是全过程的控制,只有通过全过程的控制才能保证建造出来的厂房是符合要求的。一般情况下,洁净车间施工是根据洁净室的装修作为控制的主线来考虑的。整个厂房封闭以后洁净室施工才能开始,如果没有封闭的话,也要采用临时封闭的办法,保证封闭施工作业。

  施工质量受哪些影响

  影响洁净车间性能的因素,在竣工调试过程中,有时会出现性能达不到设计要求的参数,这是为什么呢?因为,洁净车间施工是一个系统工程,它是由多专业、多工种、多过程相结合的产物。任何一个专业、一个工种、一个过程出现问题都会影响洁净室施工后的总体质量。

  影响洁净车间施工总体性能参数的主要因素有:1、空调净化送回风系统和洁净室的气流组织;2、冷、热、湿源的供应和空气处理系统;3、自动控制系统的灵敏度和精度。

洁净车间

  在洁净车间设计和施工的过程中,设计是基础,洁净室设计决定了洁净工程的优劣和省费。如果设计计算错误,设备选择不当,气流组织不合理都会给洁净车间性能带来先天性的不足。而施工是实践,洁净室施工不规范,偷工减料以次充好或不按图纸施工,也会给洁净室的性能造成无法挽回的后果。


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