文章摘要:随着空气净化工程设计的发展,高效空气过滤器无论是过滤材料、结构形式、密封材料、外框材质以及检测方法变化发展很快,尤其是集成电路生产的日新月异,要求生产环境达到控制微粒直径为0.05-0.1m,空气洁净度等级要求1级甚至更为严格,并且还要控制生产环境中的分子级化学污染物、重金属污染物等。
随着
空气净化工程设计的发展,高效空气过滤器无论是过滤材料、结构形式、密封材料、外框材质以及检测方法变化发展很快,尤其是集成电路生产的日新月异,要求生产环境达到控制微粒直径为0.05-0.1m,空气洁净度等级要求1级甚至更为严格,并且还要控制生产环境中的分子级化学污染物、重金属污染物等。为了满足各种工业产品微细化、高精密度的要求,除了从
空气净化工程设计的布置、围护和室内装饰以及净化空调系统的形式、气流流型等方面采用可靠的技术措施外,关键技术措施之一便是选用符合要求的高效空气过滤器(HEPA)、超高效空气过滤器(ULPA),在这方面国内外的科研、设计和制造厂家都做了大量研究开发工作,取得了许多可用的成果,但是国产高效过滤器的产品与国际先进产品相比仍有较大差距,尤其是用于比5级(100级)和要求更严格的空气净化工程高效过滤器、超高效过滤器的质量、检测方法等方面存在着较大差距。
我国的国家标准GB 13354-92 《高效空气过滤器》中规定,高效过滤器是采用钠焰法检测,其效率达到99.9%以上的过滤器;或对粒径>0.1um的微粒采用粒子计数测定法,其效率达到99.999%以上的过滤器。