在半导体集成电路生产中常常需使用一些特殊气体，其中许多特殊气体均属于易燃易爆或有毒甚至剧毒或有腐蚀性的气体，洁净工程设计人员对于这类排气系统首先应按特气的品种、性质划分排气系统，必须防止在排气系统中产生化学反应；其次应选用专用的废气处理装置，洁净工程特气排气的处理设备通常有稀释法、吸收法、吸附法、催化燃烧法等；再有是排气系统的设备、管道的材料选用必须根据排气中的特气性质选择相适应的材质，并不得与排放的特气发生反应。

在生产或分装青霉素等强致敏性药物、某些甾体药物以及高活性、有毒药物的房间、一类危险度以上病原体操作区的排风口，应安装高效过滤器，使这些药物引起的污染危险降低至最低限度。并且此类排风系统的排入大气的排风口与其他药品生产用净化空调系统的新风进风口应相隔一定距离。

洁净工程室内排风系统的处理设备、风管、附件，如密闭阀、调节阀和止回阀等附件的制作材料、保温材料和涂料，洁净工程设计人员应根据排出气体的性质及其所处的空气环境条件等确定。在《洁净厂房设计规范》中作了明确的规定。洁净工程的排风管、附件及辅助材料的选择应符合下列要求。

①排风系统的风管应采用不燃材料。这里所指的不燃材料是各种类型的金属板材，包括碳钢、不锈钢、有色金属板材，具体选用应按排气的性质确定。

②排除腐蚀性气体的风管，应采用耐腐蚀的难烧材料。这里所指的难烧材料主要是氧指数等于大于32的玻璃钢等。

③附件、保温材料、消声材料和涂料等均采用不燃材料或难燃材料。这里所指的不燃材料主要是岩棉、玻璃棉等；难燃材料主要是氧指数大于等于32的橡塑海绵、聚氨酯等。