①室内、外消火栓供水系统。消火栓用水量应根据厂房的生产类别、建筑物的耐火等级及建筑物的体积等因素，根据《建筑设计防火规范》 (GB] 16-87, 2001年版)确定。例如某生产集成电路的洁净厂房，其生产类别为丙类，建筑物的耐火等级为一级，建筑物体积大于50000m，根据规范，其室内消火栓用水量为10L/s、室外消火栓用水量为40L/s。
②自动喷水灭火系统。其用水量应根据设置场所的火灾危险等级，根据《自动喷水灭火系统设计规范》 (GB 50084-2001)确定。同样以上述的洁净厂房为例，按中危险级1级设计，其喷水强度为6L/(min-㎡)，作用面积为160㎡，计算用水量为20.8 L/s.
除此之外，净化工程应根据有关规范设置水成膜泡沫灭火系统(例如，集成电路生产的有机溶剂配制间)和水喷雾灭火系统(例如，备用柴油发电机房)。
除了消防给水外，
净化工程还应设置必要的气体灭火系统(用于重要主机房、高低压配电室等)，常用的灭火剂有
CO₂、FM-200（七氟丙烷）、IG-541(
CO₂、Ar、N2的混合气体)等。
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