实验室净化中FFU集成电路设计优点：洁净室面积可扩大、洁净等级高、温湿度控制精度高等多数洁净室要求环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等。FFU集成电路系统刚好可以最大化满足这些要求。

　　实验室净化按照回风特点分为三个系统：

　　1.FFU循环系统;

　　2.循环空调机配合高效送风口系统;

　　3.循环风机配合湿式密封系统和。

　　FFU集成电路系统的三种类型

　　1.最适合半导体制造业的FFU循环系统

　　FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且有很高的操作灵活性，在不影响生产的情况下可以随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造企业的需求。

　　2.最适合小规模洁净室的FFU循环系统

　　在小规模低等级要求的实验室净化设计中被广泛应用，对于大面积高等级的实验室净化则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

　　3.全能型FFU循环系统

　　这种形式的设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求，但这项洁净工程系统的运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。