近年来，以电子设备为代表的高技术产业飞速地向前发展着，在这些最先进的技术领域中，日新月异地进行技术革新，并把产品的徽细化、高质量化、超精密化作为目标，而且为了谋求生产的高效率、高质量而建造高质量的洁净车间。

用于超大规模集成电路（VLSI）、钟表、精密机械、光学仪器及电子仪器等制造、加工或装配的各类洁净车间，根据生产用途不同，而使用各种各样的设备。超大规模集成电路制造工厂的生产设备，因为有下述各种情况，必须精心设计、精心施工。

·消耗电力大；

·防振动；

·防静电；

·防电磁波干扰；

·需要实行特殊接地；

·需要不停电电源；

·电压波动、频率变化小；

·需要特殊电压。

在沽净车间的电气设备中，特别重要的问题是为确保产品的质量和成品率的提高，而应把洁净车间的洁净度稳定地维持在一定的水平上:为此，必须遵守不产生灰尘、不积存灰尘、不带人灰尘的三原则。

①不产生灰尘

·电机、通风机的皮带等旋转部分应选用耐磨性好，表面不产生剥离的材料；

·电梯等垂直运输机械或水平机械的导轨、钢丝绳的表面应不产生剥离。

②不积存灰尘

·墙面上安装的配电盘、控制盘、开关等应尽量做成暗装式，尽量采用凹凸少的形状；

·配线管等以暗装为原则，在必须明装的情况下，无论如何也不要在水平部分明装，只能在垂直部分明装；

·在配件必须明装的情况下，外表楞角要少且光滑，以便清扫；

·根据消防法规设置的安全口指示灯、疏散标志灯，需要采取不易积尘的结构；

·墙壁、地板等因为人或物的移动、空气的反复摩擦会产生静电而吸附灰尘，所以必须采取防静电地板、防静电装修材料和接地等措施；

·照明灯具因为换灯管灯泡要定期地进行维修，所以在构造上要考虑更换灯管灯泡时使灰尘不致落入洁净车间内。

③不带入灰尘

·在施工中使用的电线管、照明灯具、探测器、开关等应在进行充分清洗后再使用。另外，必须特别注意对电线管的保管。

·安装于洁净车间顶棚、墙壁上的照明灯具、开关、插座等周围的贯通部位必须密封，使之不侵人不洁的空气。贯通于洁净车间的电线、电缆的保护管在穿墙、穿地面和穿顶棚处必须密封。