在已经获得拟建场地环境振动测试数据，并已确定工程项目中精密设备的微振动控制值之后，在继而进行的洁净车间总平面设计中，应根据防微振要求及其他综合因素，合理布置各车间的位置，是十分重要的工作。对于振动较大的车间，如锻工车间、例行试验室、冲压车间、水爆清砂池、爆炸成型池等，应尽可能远离有精密设备的洁净车间；洁净车间周围，不应布置厂区干道；各类动力站房，原则上也应单建，并与洁净车间保持一定距离，动力站房内的设备应采取隔振措施，以隔除其振动影响。

精密洁净车间建筑结构的防微振动设计

精密洁净车间建筑结构的防微振设计是防微振工程设计的重要一环，要解决这一问题，首先要了解环境振动的分类及传递途径，环境振动传递的最终接受者是精密设备，其中有一类振动是直接作用于精密设备上，另一类振动是通过建筑结构的各种构件如基础、柱、梁、墙、板等最终传至精密设备底部。由图可见，大量的环境振动能量，是通过建筑结构传递到精密设备底部的。建筑结构的防微振设计的要点如下。

·建筑物基础尽可能置于坚硬土层上，并且基础有足够的刚度。

·建立独立的建筑结构防徽振体系，并与车间主体结构脱开，减弱主体结构振动的影响。

洁净车间结构防微振体系的内容随不同行业的不同工程类别而有所不同，以集成电路前工序为例，它包括如下内容。

·独立于车间主体结构的基础。一般采用深基础或复合地基，保证基础具有足够刚度及较小的沉降量。

·设置防微振平台，并与车间主体结构脱开。平台应具有较大的质量及极好的刚度，平台下支承柱采用较小的柱距。·在防微振平台下适当区段内设置防微振墙，以减弱水平向振动的传递

·防微振体系底部设置厚重地面层，并与地基土紧密接触。

这种建筑结构防微振体系需计算其动力特性，并输入场地环境振动波，计算其动态响应，计算结果应满足精密设备振动控制值要求，如不能满足要求，或在第三次环境振动测试结果不能满足要求的话，应对精密设备采取隔振措施。