10万级净化车间安装内用品除了进出10万级净化车间安装用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外，还有例如纸张文具、桌子、椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、吸尘器等物品。

　　10万级净化车间内洁净衣之材料以洗后或使用其它处理后仍不会发尘者为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，其织法或布料之组织不易通过污染物和不附着污染物之材质，另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小，洗涤再生容易、不易皱、着衣感舒适等亦为选用考虑因素。

　　10万级净化车间内头罩材质为无尘纸或无纺布制成，帽子材质则与洁净衣相同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛和脸表面部分外，其它部分均需包覆，在头部部分连接上衣处也必须全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。万级净化车间安装用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑料底，布质部分则采用与洁净服相同材质即可，鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂(Viny1)，在使用过程中若有不舒适感或妨碍手指触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上不使用有粉之Viny1手套为佳。

　　10万级净化车间洁净衣鞋帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在万级净化车间安装内进行。并以纯水配合清洁溶剂，并经约0.2μm之过滤器为之。一般洗涤周期视洁净度等级而定，在高洁净区(CLASS1)为2~3天，其它区域则为五天至一星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净衣之置放场所亦须为万级净化车间安装，备用品或新品存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以方便取用。

　　10万级净化车间内的物品应按照要求进行准备，否则会对净化车间的洁净度有较大影响。