净化工程内生产制造设备的选择、布置与保养：

　　a、净化工程要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。

　　b、净化工程应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。

　　c、净化工程生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。

　　d、规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。

　　e、真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。

　　f、设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。

　　g、生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。

　　h、应加强注意净化工程室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。

　　i、当净化工程设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。

　　j、对于施工或维修之厂商，应告知进出净化车间之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。

　　k、应有净化工程专用工具组，但不得带出无尘室外使用。

　　l、规划空间时若能临近净化车间设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。