净化工程生产设备有以下防尘措施，应实现自动化与无尘化。

　　a、磨损、切削均为发生微尘之原因，故需将发尘部分掩盖之。

　　b、易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。

　　c、在操作时，尽量减少接触零件或产品。

　　d、不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。

　　e、各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。

　　f、为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。

　　净化工程设备应具有自动化与无尘化的特点：

　　a、设立净化工程自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。

　　b、建立管制项目如进入净化车间人员的资格限定，净化工程作业人员作业规则，净化车间管理规则等。