进入夏季，气温一路飙升，人们在空调房间中仍然觉得有些热意。有的地方单是气温高，却不下雨，很干燥，有的地方是晴日与雷雨天气交加，空气尚且比较湿润。温、湿度影响人们的身体舒适度，同时也在影响产品的质量。净化车间设计时，温湿度设计要求严格。

　　温度高也不行、过低也不行。湿度同样是如此。净化车间设计很重要。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种无尘车间工程不宜超过25度。

　　湿度过高会产生大量的问题，如果净化车间相对湿度超过百分之五十时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，无尘车间工程湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。

　　不同地域，为了保证合适的温湿度，净化车间设计也有不同。在冬季气温低、空气含尘量大的北方地区，应在通用的空调机组上增设新风预热段，采用淋水式空气处理方式，使其既对空气洗尘，又使其产生热温交换达到所要求的温、湿度，而在气候湿润、空气含尘浓度较低的南方地区，则冬季也无需对新风预热，对空气的过滤及温、湿度的调节则采用初效过滤、表冷面调节温湿度，也可以加强温减湿工序，再经中效过滤和终端高效或亚高效过滤。

　　随着高、精、尖产业的迅速发展，对净化车间的需求仍然在不断增加。净化技术也应与时俱进。