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昆明GMP净化车间机构:金属管道的连接
发布时间:2018-06-14   浏览次数:3237

文章摘要:昆明GMP净化车间机构建议在进行金属管道连接前认真复核设备接口方位、规格、尺寸,采取先预制后安装方法进行。

对于昆明GMP净化车间机构来说,GMP净化车间内的管道安装必须布局合理、排列整齐、便于检修,控制阀安装便于操作洁净区内的明装管道。车间内运输高纯气体的金属管道安装最为重要,必须严格按照规范来安装连接。

 

金属管道的连接

一、管道材质:

用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:

1.铜管。在半导体企业中,个别生产工艺如砷化镓的操作,为了防止产生器件电阻,不允许使用铜制管路及其附件,只能使用不锈钢材料。

  2.低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。

二、连接方式:

  1.焊接高纯、高洁净气体管道,原则上采用焊接,但不能直接对焊,应采用套管接头。

  a不锈钢管的焊接:采用氩弧焊,同时管内通入同等纯度的氩气,防止焊接部位氧化。

b钢管的焊接:采用40%银焊条,氮气保护焊,管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意,一旦氮气中断或氮气纯度下降,会在焊口附近生成铜的氧化物,产生浸润表面的可能性。所以,当铜管焊接完毕后,要用浸渍丙酮的纱布来回擦拭管内,消除焊接处可能产生的氧化物。

2.法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯乙烯,为确保密封效果,在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。

  3.螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好,不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险,而且内外螺纹旋紧时,金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子,污染气体。如确实必要,应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时,在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条,提高密封效果,尽可能减少金属粉尘。

三、管路附件的使用:

1.在采用铜材的管路系统中,可以使用不锈钢材质的管道附件但在不锈钢材质的管路系统中,不容使用铜制材料的管道附件。

2.管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。

昆明GMP净化车间机构

以上就是金属管道的连接内容,昆明GMP净化车间机构建议在连接前必须认真复核设备接口方位、规格、尺寸,采取先预制后安装方法进行,尽量减少GMP净化车间内的管道、管件、阀门和支架的数量。


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