静电在我们的日常生活中经常发生，是一件微不足道的小事情，但是静电却是净化工程最难控制的因素之一，净化工程当中如果发生静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的可靠性。因此，在电子企业生产当中，所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。有很多办法可以消除生产过程中的静电，对有防静电环境要求的净化工程，常用以下几种方法：

    1、选用合适的材料：

    净化工程装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料，多种材料共同使用时，应选用在电序列表中位置接近的材料。所有的材料可归入电的导体或电的绝缘体。导体是电流能通过的材料，绝缘体是电流不能通过的材料。

    2、接地：

    接地是带电导体消除静电最为普遍、经济、简便、可靠的方法。

    (1)净化工程内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。

    (2)净化工程的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电装饰，可以抑制尘埃的带电吸附。

    (3)工艺设备接地。

    (4)办公设备应采用能防静电的材料制成并接地。

    (5)净化工程工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。

    3、中和：

    将带电体(静电)周围的空气离子化后，带电的离子在电磁场作用下发生迁移，带电体吸引异性电荷达到中和而消除静电。静电消除器是一种能产生电 子和离子的装置，它产生的电子、离子与带电体上的异性电荷中和，从而消除静电。净化工程绝缘材料表面所带的静电荷、空气中的静电荷必须用静电中和的办法来消除。

    4、湿度控制：

    在众多消除静电的方法中，净化工程的湿度控制也被认为可以用来减少和消除净化工程静电。通过在环境中保持高的相对湿度，在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层，利用这一薄层来提供导电的通道，使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。另外，薄薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性，摩擦生电也将减少。一般来说，湿度越低，产生的电荷越多。但是资料表明，甚至在湿度高时也会产生显著的静电电压，但是，在高湿度环境中，生产人员可能会感觉十分不舒服，零部件可能生锈，并产生可焊性问题。同时，企图用湿度控制来消除静电的方法显然是高耗费的，尤其在干燥地区更是如此。