文章摘要:净化工程公司对于这类机房在厂房内位置的安排,主要着眼于生产工艺布置的特点、要求和送、回风管道的长短等因素。当厂房面积不大、系统简单、管线交叉不多时,可将送回风干管布置在上部技术夹层
1、集中设置。净化工程公司对于这类机房在厂房内位置的安排,主要着眼于生产工艺布置的特点、要求和送、回风管道的长短等因素。当厂房面积不大、系统简单、管线交叉不多时,可将送回风干管布置在上部技术夹层;当厂房的面积较大、较长,或者系统划分较多时,宜沿厂房长边布置机房、每个系统可以直接与所服务的洁净室对应排列;当采用顶部技术夹层时,送回风于管走向与屋顶承重构件方向相平行,可以充分利用空间。有的净化工程公司将机房设置在技术夹层的顶部,不仅缩短了风管长度而且节省了用地。
2、分散设置,厂房面积较大或者洁净生产区过于分散,集中设置机房使布置困难,在经过技术经济比较后,也可分设几处机房。净化工程公司在技术改造工程中,往往因原有房屋空间条件所限,需将净化空调设备分散设置在各洁净室的附近。分散设置方式的风管短,布置灵活,较能适应和利用原有空间,但在实际应用时应充分考虑噪声与振动对产品生产可能带来的影响。
3、混合设置,在某些工程中,既使用集中式净化空调机房供大部分洁净生产区安装的,净化空调装置,又对特定局部空间使用分散式的净化空调装置,满足生产工艺的需要,它兼有集中式与分散式的特点,更加经济灵活,适应产品生产的要求。
近年来,
净化工程厂家在大规模集成电路生产用洁净厂房中常常采用隧道式送风、集中送风和风机过滤单元(FFU)送风方式,各类机房的布置基本采用“混合设置”的方式,即新风处理机集中设置,循环空气机组分散设置。