层流罩是垂直单向流的局部洁净送风装置，净化车间局部区域的空气洁净度可达5级(100级)或更高级别的洁净环境，净化车间洁净度的高低取决于高效过滤器的性能。层流罩按结构分为有风机和无风机，前回风型和后回风型；按安装方式分为立(柱)式和吊装式。其基本组成有外光、预过滤器、风机(有风机的)、高效过滤器、静压箱和配套电器、自控装置等，它的进风一般取自净化车间厂房内，亦可取自技术夹层，但其构造将会有所不同，设计时应予注意。

层流罩的出风速度多数在0.35~0.5m/s，噪声<62dB (A)。其单体外形尺寸一般为700mm×1 350mm~1300mm × 2700mm，层流罩可单体使用，也可多个单体拼装组成洁净隧道或局部洁净工作区，以适应净化车间的需要。

余压阀是为了维持一定的室内静压而设置的，它是一个单向开启的风量调节装置。按静压差来调整开启度，用砝码的位置来平衡净化车间的风压。通过余压阀的风量一般在5-20m/min之间，维持压差在5-40Pa之间。

余压阀对急剧的静压变化有很好的适应性，一般宜设置在静压差不同的净化车间之间下风侧的外墙上，并不得设在明显地影响下游侧的室内气流的场所。

余压阀的选择与安装 ①余压阀的结构应能正确地动作，可动部分加工精度满足要求；②静压差急剧变化时反应灵敏； 构造上不易积灰； ④按计算的漏风量可以排出的原则决定大小及设置台数；其排出风速不应明显地影响下流侧室内气流状态。