温湿度对洁净车间的影响都有哪些
发布时间:2018-11-23 浏览次数:2787
在洁净车间内生产具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在洁净车间内大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种洁净车间不宜超过25度。
净化公司在设计施工中发现,在普通无菌车间内湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,洁净车间内湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。另外湿度过大会产生微生物的滋生问题。
济南润德净化工程公司拥有雄厚的技术实力和丰富的施工经验,因地制宜,区别对待,根据净化场所的不同,利用专业净化工程设备,设计适应生产工艺流程、工程造价合理的方案,设计技术指标符合实验室净化标准,经验丰富的洁净车间施工队伍快捷高效,售后服务完善,
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