洁净工程防静电措施应该包括以下三条主要原则：

　　(1)连接工作间内所有导体(包括人员)

　　(2)使工作间内的非导体保持静电平衡;

　　(3)将静电安全工作区之间所有对静电敏感的物件装人静电防护罩内：

　　以上三条很重要,必须按次序操作。其中,接地是最重要的一项。如果孤立的导体带了电,将它接地就可使静电释放。通过这种方法,设备、材料和许多适合洁净工程的诸如印制电路基板、人造织物、塑料运送盘、聚四氟乙烯(tefon)等一些非导电材料,不能用接地的方法将静电消除。那么就需要其他方法以中和电荷。对存在于绝缘体和与大地隔离的导体上的静电,实际上，洁净工程中还经常用空气离子发生器来对付它。空气离子发生器可以产生正、负空气离子团,去中和洁净工程内的静电。

　　在洁净工程内使用的空气离子发生器,必须符合与其他设备相容的一般方针,而且空气离子发生器的运用应不产生洁净室污染。空气离子是空气中失去或得到电子的气体分子。在洁净室中最一般的获得空气离子的方法是利用电晕电离器。在空气离子发生器里,将很高的电压加到发射极尖端上,形成冠状电场,从而会很容易将空气分子的电子移走,也就是使空气发生电离。

　　当电离的空气与带电的绝缘体表面接触时,带电表面就会吸引极性相反的空气离子,从而消除静电。因为洁净工程中造成静电带电的电荷,既有正电荷,也有负电荷。所以,中和这些静电,就既需要正空气离子,也需要负空气离子。

　　洁净工程的洁净过程经常涉及到高压气体吹喷,以达到移除微粒和风干的目的。如果用空气离子发生器电离这一高压气体,使之中和带电表面上的静电荷,从而可以达到两个目的:其一,使消除因带电表面吸附微粒造成的污染变得容易;其二是对于没有带电的产品表面,减小了它在洁净过程后再吸附微粒造成污染的可能。