洁净车间送风洁净度

　　要保证供气洁净度达到要求，关键是净化系统的末级过滤器的性能和安装。净化系统的最终过滤器通常采用高效过滤器或次高效过滤器。根据中国标准，高效率滤波器的效率分为四个等级：A类大于99.9%，B类大于99.9%，C类大于99.999%，D类大于99.999%（也称超高效滤波器）。亚高效过滤器为95～99.9%（对于0.5以上的颗粒）。过滤器的效率越高，它就越昂贵。所以洁净车间在选择过滤器时，要符合既要满足供气洁净度的要求，又要考虑经济合理。考虑到洁净度要求，主要是选择低性能洁净室低性能过滤器和高性能洁净室的高性能过滤器。

　　为了保证洁净车间空气供应的清洁，仅仅有合格的过滤器是不够的。安装严密。要做到第一个，坚持对洁净车间施工安装人员进行培训，不仅要安装净化系统，而且要有熟练的安装技巧，否则很难保证不损坏过滤器。其次，安装严密性问题，根据洁净车间安装结构，设计手册一般建议：对于单一的过滤器采用明装型式，这样即使发生泄漏，也不会泄漏到室内；采用成品高效气源口，STR，ICT紧密性也很容易得到保证。