制定施工程序表：建设洁净车间有先后的顺序，杜绝哪部分材料先到就先施工哪部分的极端错误做法，避免污染。允许同时施工的各部分要注意彼此间的衔接关系，必要时应绘制施工二次设计图。

　　高效过滤器的安装：洁净车间安装高效过滤器之前，应彻底做好清洁工作，净化送、回风系统连接试运行24小时后，再次清洁洁净室后，立即安装高效过滤器。

　　洁净送、回风系统风管的施工：风管内表面必须平整光滑，风管安装之后、保温之前应进行漏风检查。风管与部件支、吊架的预埋件、射钉或膨胀螺栓的位置应正确，牢固可靠，埋入部分应去除油污，并不得涂漆。

　　设置专用仓储间：所有材料和设备说明书和合格证均应妥善保管，以便竣工验收后将资料完整的移交给用户。设备和材料到达洁净车间施工现场时，应严格检查，各种过程器开箱检查后应重新封存。

　　做好洁净车间的密封工作：气流要有序流动，按照设计者的意图流动，不该漏的地方绝对不能漏。很多人认为施工时为了平衡新风，要排掉一部分室内的空气，漏一点也无所谓，这种观点是不可取的。

　　其他事项：施工前对原有的建筑进行彻底的清扫和修补工作，对原有的门窗要做好密封工作。洁净车间超纯水和超纯气系统的安装必须请有资质的专业人员进行。