洁净技术是包含空气净化技术、空调技术、水资源净化技术、气体净化技术、痕量杂质控制技术、清洁环境监测技术等。洁净技术的应用主要通过洁净室来实现。润德净化表示，洁净工程有多种分类方式：按用途分为工业洁净室和生物洁净室；按洁净室构造分为土建式洁净室和装配式洁净室；按气流组织型式分为单向流洁净室和非单向流洁净室。

洁净工程采用装配式，非单向流动的工业洁净室。预制的无尘室基于外部维护结构的完成，采用一定模数的隔断构件进行现场装配，特点是构造简单、装配方便、应用广泛；非单向流洁净工程的原理是“稀释冲淡”作用，利用干净空气的不均匀扩散来稀释室内的发尘量，以保持室内的洁净度（适用于洁净度6～9级），特点是结构简单、造价低、维护费用低。

洁净工程中最重要的指标是灰尘颗粒的浓度。从减少和控制室内灰尘颗粒的浓度来看，保证洁净度的基本措施如下：

1）采用维持洁净工程内的正压，以确保高效过滤器的有效性和工程结构的紧密性，设置人、物净化设施等措施来防止室外污染的直接侵入；

2）通过洁净工程建筑内表面结构和设备管道的设计，防止微尘堆积；

3）通过合理规划人员流动，物流和材料选择，提高过程自动化水平并控制污染源，减少微尘产生量；

4）合理规划空气分配，以有效迅速地清除房间内产生的细微灰尘。洁净工程中，根据国标GB50073—2013《洁净厂房设计规范》，我国洁净室内不同洁净度等级对应的气流流型和送风量。

电气系统设计

质谱仪是一种精密仪器，集数字，模拟，计算机软件和硬件，真空和离子光学技术于一体。洁净工程中，对于电源的稳定性（一般电压要求220×（1±0.05）v，频率要求（50±0.5）hz）和连续性要求较高，电源性能好坏直接关系到质谱仪的正常运行与寿命。质谱仪常用的配电模式如下：

1）稳压电源供电：来自主配电室的专用电源线在通过稳压器后为质谱仪供电。洁净工程在其中的特点是可以消除电网的变化与波动对质谱仪的影响，但稳压电源不能稳定频率和解决断电问题，适用于电网稳定地区。

2）UPS（不间断电源）供电：来自主配电室的专用电源线为UPS之后的质谱仪供电。UPS是质谱仪的理想电源，不仅在断电时能继续供电，而且还具有稳压和稳频的作用。质谱仪一般要求在断电后能继续工作一段时间，以便真空泵、电子元器件能够平稳地启停。洁净工程中，UPS的供电时间取决于仪器设备需求，一般为1～4h。对于具有多台质谱仪的实验室，可以选择一台UPS集中供电或多台UPS分散供电的模式。

根据国外经验，净化工程中，大型质谱仪通常会选择为每个质谱仪分别配置UPS的分布式电源模式。目前，稳压电源供电和UPS供电是质谱仪主流的供电模式，UPS供电模式虽然投资偏大，但综合优势非常突出，是大型质谱仪优选的供电模式。洁净工程中采用每台质谱仪单独配置UPS的分散供电模式。