随着中国工业生产和医疗技术的发展，对洁净工程的需求越来越广泛。除满足车间的温度和湿度要求外，还采用洁净空调技术对室内的微粒子含量、气流、压力等也控制在一定范围内。

洁净厂房温湿度控制

1.洁净工程温度控制

具体的控制计划是：在洁净室的回风管道上安装冷水盘管，在洁净室下层搁板的桁架梁上安装温度传感器。对应区域回风夹道处冷水盘管的中温冷冻水（１４℃）管道上安装有电动调节阀，每个区域的温度与此电调节阀构成闭环控制，用控制盘管内中温水流量来控制对应区域的温度，此PID加适当微分，用以克服温度传感器的滞后性。

2.洁净工程湿度控制。

在洁净室的温度控制稳定之后，湿度控制也非常重要。 过高容易冷凝，过低容易产生静电，这会影响LCD面板的良率。因此55％±5％的相对湿度是控制的一个目标。但对于如此大型的洁净厂房直接加湿和除湿是不现实的，于是采用非洁净区的新风机组通过不停补新风的置换来控制。洁净工程温度23℃，湿度55％的空气通过查询焓湿图可知，此时露点温度为13.5℃，那么理论上新风机组只要将送风的露点控制在13.5℃即可，如果洁净车间湿度偏高，可以送低于13.5℃露点的新风，反之送高于13.5℃露点的新风，所以洁净工程湿度控制的关键在于新风机组送风露点的控制，下面以控制13.5℃的送风露点来说明新风机组的控制原理。新风机组是一种空气调节设备，不但能提供新鲜空气，而且可控制送风露点。

3.洁净工程正压控制。通过以上两个方面使洁净室的温度和湿度稳定后，需要保证一个参数-洁净室的正压，顾名思义就是洁净工程相对室外为正压，使温湿度不受外界环境影响。正压的形成依靠新风机组不停地补新风来保证，这个新风必须大于各工艺设备的排气量，但工艺设备的排气量随产能有变化，且洁净工程搬入口也偶尔会打开搬入材料，会有部分漏风量，所以新风采用固定频率送风的方式是肯定行不通的，而原设计的新风机组变频与送风风管压力控制也不能完全代表洁净工程正压，所以做了控制整改：利用洁净工程下夹层已经安装用以监视的压差变送器，根据其信号通过PLC计算出一平均正压，由此正压来控制新风机组变频器运行，PID输出CV值赋值给服务此洁净工程的所有新风机组，保证新风机组频率同升同降。

总之，要控制好洁净工程的温湿度不是很容易的,湿度控制比温度控制更难,而二者是不可分割的,单独考虑一方会致使都不能达到设计要求,这就需要设计者进行全面分析,并与各专业紧密配合,采用专业的施工管理,这些都需要在净化工程实施时去探索