实验室净化的温湿度控制

1.洁温度控制。实验室净化的具体控制方案为：实验室净化内的回风夹道处安装冷水盘管，实验室净化下架层的格构梁上安装有温度传感器，对应区域回风夹道处冷水盘管的中温冷冻水（１４℃）管道上安装有电动调节阀，每个区域的温度与此电调节阀构成闭环控制，用控制盘管内中温水流量来控制对应区域的温度，此PID加适当微分，用以克服温度传感器的滞后性。

2.湿度控制。实验室净化温度控制稳定后，湿度控制也非常重要，过高容易结露，过低则容易产生静电，都会影响液晶面板的良率，因此55％±5％的相对湿度是控制的一个目标。但对于如此大型的洁净厂房直接加湿和除湿是不现实的，于是采用非洁净区的新风机组通过不停补新风的置换来控制。洁净间温度23℃，湿度55％的空气通过查询焓湿图可知，此时露点温度为13.5℃，那么理论上新风机组只要将送风的露点控制在13.5℃即可，如果洁净间湿度偏高，可以送低于13.5℃露点的新风，反之送高于13.5℃露点的新风，所以实验室净化湿度控制的关键在于新风机组送风露点的控制。

4.电气、仪表设计。项目PLC控制系统采用罗克韦尔自动化公司的14套冗余的ControlLogix控制器，I／O硬点9785个，温湿度传感器：每个分厂实验室净化面积大概在3万多m２，平均每500m２范围内安装一温湿度一体的传感器，用以直接监视实验室净化内温湿度（不参与控制，选用两线制仪表。温度传感器：安装于洁净间下夹层格构梁上，PID设定值23℃，可以确保气流经生产区直接吹下来的温度稳定在23℃。

总之，要控制好实验室净化工程的温湿度不是很容易的,湿度控制比温度控制更难,而二者是不可分割的,单独考虑一方会致使都不能达到设计要求,这就需要设计者进行全面分析,并与各专业紧密配合,采用专业的施工管理,这些都需要在实验室净化工程实施时去探索