净化车间运转与维护管理员进出须予于规范管理外，愿物料及设备之进出也必须经过洁净程序，不至于影响车间洁净度。原物料及设备进出用净化车间为等级1000或10000级之房间，净化车间工作人员于其室内清洁设备或物料时必须穿着洁净衣服，所使用之擦拭纸为无 尘纸或不会脱落织毛之无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入3~5%浓度的IPA或丙酮化学品，以增强去污能力，由于IPA及丙酮具挥发性，故此房间之排气效果须特别考虑。

　　净化车间用品管理

　　室内用品除了进出用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚有如纸张文具、桌子、椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、吸尘器等。

　　净化车间的洁净衣之材料以洗后或使用其它处理后仍不会发尘者为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，其织法或布料之组织不易通过污染物和不附着污染物之 材质，另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小，洗涤再生容易、不易皱、着衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸或无纺布制成，帽子材质则与洁净衣 相同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛和脸表面部分外，其它部分均需包覆，在头部部分连接上衣处也必须全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。

　　净化车间用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑料底，布质部分则采用与洁净服相同材质即可，鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂，在使用过程中若有不舒适感或妨碍手指触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上不使用有粉质手套为佳。

　　净化车间衣鞋帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在无尘室内进行。并以纯水配合清洁溶剂，并经约0.2μm之过滤器为之。一般洗涤周期视洁净 度等级而定，在高洁净区(CLASS1)为2~3天，其它区域则为五天至一星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净衣之置放场所亦须为洁净车间，备用品或新品存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以方便取用。