文章摘要:特定地点的环境振动值往往不是单个振源的振动影响,而是多个振源影响的叠加。不同地点,不同振源组合,其振动影响的叠加结果常常差别很大。鉴于此,洁净车间设计中环境振动值的确定一般应立足于实测。
我国幅员辽阔,地理、地质、水文条件变化极大,而铁路、公路、飞机场的构造、通行的频繁程度,厂矿机械的基础结构等都有很大差异,因此很难用一个特定的量来表述某类振源的环境振动影响。尤其是特定地点的环境振动值往往不是单个振源的振动影响,而是多个振源影响的叠加。不同地点,不同振源组合,其振动影响的叠加结果常常差别很大。鉴于此,
洁净车间设计中环境振动值的确定一般应立足于实测。
对于有防微振要求的洁净车间厂房,通过场地环境振动实测对比来选择厂址,是工程可行性研究阶段的重要内容,一般说来,洁净车间选址应考虑如下原则。
·厂区应远离铁路、公路干道、码头、机场,并选择环境振动较小的地区。在地质上应避开断层、流砂,选择地质构造稳定、土层密实、地下水位变化较小的地区。
·合理利用地形、地貌,例如利用河流、地面高差等自然条件,减少环境振动对厂区及洁净车间的影响。
洁净车间选址应采用先进的测量仪器,它应具有良好的频响、高灵敏度及信噪比,在工程建设中必须坚持采用实地测试、分析比较的方法选择理想的厂址,切忌未经测试分析而由行政部门主观指定。
以对防微振及洁净生产环境有严格要求的惯导实验室为例,贯导实验室的场地应避开如沿海地区、地震活动频繁地区、断层地带、雷雨及龙卷凤区、飞机飞行区、公路干线、铁路沿线、大型河流及湖泊区、城市工业区及人口密集区、常年冰冻区、矿区、森林区。
可以根据这些原则,在较大的地域范围初选,再在初选分析对比的基础上进行精选,直至最终确定。
对于集成电路工厂的建设,其微振动测试尤为重要。根据集成电路工业洁净车间的特点,其振动测试根据工厂建设的建设阶段,一般分四次进行。
① 场地环境的振动测试。主要调查拟建场地的环境振动参数,厂区周围公路、铁路等交通运输所产生的振动影响,评估拟建场地是否可行,并根据实测参数选择结构形式,以抵御环境振动对结构的影响,保证所采用的结构形式使场地的环境振动在结构上不至于增大。
② 主体建筑竣工后,在
洁净车间内各种设备未安装前进行环境振动对主体结构影响的测试。目的是了解建筑物自身的振动特性,验证结构方案,为洁净车间内各种振动设备的隔振提供技术资料。
③ 车间内除精密设备外,其他空调系统、动力系统等设备和工艺附属设备都已联机调试或进行试运转时,对精密设备安装位置的环境振动测试。调查了解该位置的环境振动是否满足精密设备的振动安装条件要求,为精密设备是否进一步采取隔振措施提供依据。
④ 精密设备安装完毕,进行试生产时,最终对整个生产线验证。用以保证产品的可靠性。环境振动的物理量,应根据精密设备对物理量的要求相应确定,不外乎是振动加速度、振动速度及振动位移,一般情况下,对采集得到的数据需进行时域及频域分析。