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有防微振要求的洁净车间选址原则
发布时间:2018-12-12   浏览次数:3045

文章摘要:特定地点的环境振动值往往不是单个振源的振动影响,而是多个振源影响的叠加。不同地点,不同振源组合,其振动影响的叠加结果常常差别很大。鉴于此,洁净车间设计中环境振动值的确定一般应立足于实测。
我国幅员辽阔,地理、地质、水文条件变化极大,而铁路、公路、飞机场的构造、通行的频繁程度,厂矿机械的基础结构等都有很大差异,因此很难用一个特定的量来表述某类振源的环境振动影响。尤其是特定地点的环境振动值往往不是单个振源的振动影响,而是多个振源影响的叠加。不同地点,不同振源组合,其振动影响的叠加结果常常差别很大。鉴于此,洁净车间设计中环境振动值的确定一般应立足于实测。
对于有防微振要求的洁净车间厂房,通过场地环境振动实测对比来选择厂址,是工程可行性研究阶段的重要内容,一般说来,洁净车间选址应考虑如下原则。
·厂区应远离铁路、公路干道、码头、机场,并选择环境振动较小的地区。在地质上应避开断层、流砂,选择地质构造稳定、土层密实、地下水位变化较小的地区。
·合理利用地形、地貌,例如利用河流、地面高差等自然条件,减少环境振动对厂区及洁净车间的影响。
洁净车间选址应采用先进的测量仪器,它应具有良好的频响、高灵敏度及信噪比,在工程建设中必须坚持采用实地测试、分析比较的方法选择理想的厂址,切忌未经测试分析而由行政部门主观指定。
以对防微振及洁净生产环境有严格要求的惯导实验室为例,贯导实验室的场地应避开如沿海地区、地震活动频繁地区、断层地带、雷雨及龙卷凤区、飞机飞行区、公路干线、铁路沿线、大型河流及湖泊区、城市工业区及人口密集区、常年冰冻区、矿区、森林区。
可以根据这些原则,在较大的地域范围初选,再在初选分析对比的基础上进行精选,直至最终确定。
对于集成电路工厂的建设,其微振动测试尤为重要。根据集成电路工业洁净车间的特点,其振动测试根据工厂建设的建设阶段,一般分四次进行。
① 场地环境的振动测试。主要调查拟建场地的环境振动参数,厂区周围公路、铁路等交通运输所产生的振动影响,评估拟建场地是否可行,并根据实测参数选择结构形式,以抵御环境振动对结构的影响,保证所采用的结构形式使场地的环境振动在结构上不至于增大。
② 主体建筑竣工后,在洁净车间内各种设备未安装前进行环境振动对主体结构影响的测试。目的是了解建筑物自身的振动特性,验证结构方案,为洁净车间内各种振动设备的隔振提供技术资料。
③ 车间内除精密设备外,其他空调系统、动力系统等设备和工艺附属设备都已联机调试或进行试运转时,对精密设备安装位置的环境振动测试。调查了解该位置的环境振动是否满足精密设备的振动安装条件要求,为精密设备是否进一步采取隔振措施提供依据。
④ 精密设备安装完毕,进行试生产时,最终对整个生产线验证。用以保证产品的可靠性。环境振动的物理量,应根据精密设备对物理量的要求相应确定,不外乎是振动加速度、振动速度及振动位移,一般情况下,对采集得到的数据需进行时域及频域分析。
 


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