电子厂净化车间比较容易忽略的污染源
发布时间:2017-03-24 浏览次数:5423
在今天举行的2017年中国半导体市场年会暨第六届集成电路产业创新大会-应用创新论坛上,中兴微电子无线终端产品市场总监表示,中兴微电子开始实施“M战略”,从人际通信转型人与机器、机器与机器的通信,瞄准工业物联网、万物互联,聚焦5G、Volte和NB-IoT芯片。今年主推的芯片NB-IoT、芯片Rose Finch7100,预计将在9月份进行芯片和模块的同步发售,5G芯片预计将于2019年进入测试。随着我国高新科技领域的发展,对电子厂净化车间的需求越来越大,同时对其要求也越来越高。
随着大规模电子制造业利用各样的设备和工艺技术。各专业技术人员虽然对自己分工的工艺技术精益求精,但对其它工艺生产情况有时不一定了解,往往不注意设备和工艺生产给电子厂净化车间内的环境带来的不良影响。
电子厂净化车间比较容易忽略的污染源:
(1)电磁噪声
通过电子厂净化车间大电流的氧化炉等设备的电缆和反复控制通断的电磁开关,高频振荡等产生的电磁噪声,影响电子束扫描设备的扫描精度。其影响程度与发生源的距离成反比。
(2)振动
电子厂净化车间设备内的真空泵电机工作时会把振动经地板传递到微细加工设备和显微镜等精密设备仪器上,影响它们的工作精度。应在振源和怕受振动的设备下安装空气弹簧减震器,以达到衰减振动的目的。
(3)生锈
电子厂净化车间酸用通风罩局部排风量不足时,酸雾气扩散于车间内,腐蚀车间内设备的金属部分,就是不锈钢裸露在含氯气的空气中,也会受腐蚀生锈。处理酸的最有效的方法是采用密闭通风罩,保证电子厂净化车间有足够的局部排风量。
除上述人们熟知的原因之外,还有器材和设备的搬出和大修施工时的污染问题。这些污染不只是由于人的移动造成的,设备移动也会扬起已落在地板表面和器材上的尘埃。特别是更换设备时养护地板,搬进小工具或很多搬运工进出电子厂净化车间,这些情况会导致电子厂净化车间内的悬浮尘埃量比平时大一百倍以上。
对电子厂净化车间局部改造的施工中,通常人在地板下铺设管道或者坐在地板上进行作业。这种施工有时切割管道,于是聚氯乙烯管和不锈钢等切屑粉末飞扬出来。所以大修时尽管周围挂上档布以养护,但由于施工人员进进出出,受污染的不仅仅是局部范围,而且全车间都受严重污染。
在电子厂净化车间内,只用有人在操作,有设备在运行,就会发尘。这些尘埃并非随着循环气流为高效过滤器所捕集,一部分尘埃总要积落在地板、墙壁、设备表面上。应随时清除这些积尘,以保持电子厂净化车间的清洁。
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